硅Si的纯度可以做到>99.999%, 分为单晶或多晶, 掺杂和不掺杂, P型和N型, 可做成长方板状,圆盘状,用于蒸镀材料的不规则颗粒状,靶材表面可达到RA16微米, 最大尺寸可做14英寸圆片, 另可根据图纸加工复杂的项目, 具体尺寸及详细规格资料,请与我们联系.

硅化物材料, 可做成粉末和热压溅射靶材, 如二硅化镍, 硅化钽, 硅化钛, 硅化铌, 硅化钨, 硅化钼, 硅化钴, 硅化铁, 硅化铜等

二氧化硅蒸发料, 透明晶体状, 纯度为99.99%, 粒度为1-3mm或由客户指定

二氧化硅溅射靶材, 全透明状, 纯度为99.99%, 最大尺寸可做14"直径, 也可做环状, 可由客户指定

氮化硅蒸发料, 不规则块状, 纯度为99.5%

氮化硅溅射靶材, 纯度为99.5%, 相对密度70%

碳化硅溅射靶材, 纯度为99.9%, 相对密度85%