硅Si的純度可以做到>99.999%, 分為單晶或多晶, 摻雜和不摻雜, P型和N型, 可做成長方板狀,圓盤狀,用於蒸鍍材料的不規則顆粒狀,靶材表面可達到RA16微米, 最大尺寸可做14英吋圓片, 另可根據圖紙加工複雜的項目, 具體尺寸及詳細規格資料,請與我們聯繫.

硅化物材料, 可做成粉末和熱壓濺射靶材, 如二硅化鎳, 硅化鉭, 硅化鈦, 硅化鈮, 硅化鎢, 硅化鉬, 硅化鈷, 硅化鐵, 硅化銅等

二氧化硅蒸發料, 透明晶體狀, 純度為99.99%, 粒度為1-3mm或由客戶指定

二氧化硅濺射靶材, 全透明狀, 純度為99.99%, 最大尺寸可做14"直徑, 也可做環狀, 可由客戶指定

氮化硅蒸發料, 不規則塊狀, 純度為99.5%

氮化硅濺射靶材, 純度為99.5%, 相對密度70%

碳化硅濺射靶材, 純度為99.9%, 相對密度85%