TYR專業提供 金屬鋁,氧化鋁, 鋁合金的蒸發料及靶材, 可提供板狀, 薄片狀, 圓盤狀, 環狀, 管狀, 棒狀, 也可根據客戶要求定做, 尺寸最長可達1000mm x 500mm.最大直徑300mm, 不設最低訂購量.
金屬鋁靶材: 純度為99.99% 或99.999%, 表面可達RA16
金屬鋁蒸發料: 純度為99.99%或99.999%, 尺寸為3mmdia x 3mmL or 6mm x 6mm或按照客戶的要求, 可線切割或沖壓生產.
氧化鋁靶材: 純度為99.8%, 99.99%, 顏色雪白色, 最大圓片尺寸可提供14"直徑
氧化鋅鋁AZO靶材: 純度為99.99%, 最大尺寸為10"直徑, 長<500mm, 寬<250mm.
氧化鋁蒸發料: 純度為99.99%, 尺寸為1-3mm或3-5mm不規則粒, 或如客戶要求訂做.
氮化鋁靶材: 純度為99.9%, 尺寸由客戶要求訂做
鋁合金靶材: 如鈦鋁Ti-Al合金靶材, 鋁銅Al-Cu合金靶材, 鋁硅銅Al-Si-Cu合金靶材, 鋁釹Al-Nd合金靶材, 鋁鉻Al-Cr合金靶材等等, 尺寸及成份可如客戶要求訂做