形状可做成：圆片， 板材，颗粒， 粉末

靶材规格: 圆片,三角形, 直径 <355.6mm, 方板, 片, 等长度<1000mm x 宽度<250mm, 蒸发料的规格: 圆粒, 圆球等 6 x 6, 3 x 3, 3 x 6等, 颗粒, 小块等1-6mm, 3-12, 0.5-15mm等, 丝材的规格 0.5mm直径, 1mm直径等, 薄片(箔片)的规格是厚度>0.1mm x 宽度<250mm