形狀可做成：濺射靶材，板材，顆粒，粉末

靶材規格: 圓片,三角形, 直徑 <355.6mm, 方板, 片, 等長度<1000mm x 寬度<250mm, 蒸發料的規格: 圓粒, 圓球等 6 x 6, 3 x 3, 3 x 6等, 顆粒, 小塊等1-6mm, 3-12, 0.5-15mm等, 絲材的規格 0.5mm直徑, 1mm直徑等, 薄片(箔片)的規格是厚度>0.1mm x 寬度<250mm